MKS NOVA系列射频电源

NOVA®系列射频电源以2 MHz的频率提供2,500或5,000瓦的额定输出功率。 NOVA系列射频电源提供先进的RF等离子体产生和控制功能，可在最苛刻的薄膜处理应用中以低成本和高成品率提供。 它们非常适合在集成电路，平板显示器和数据存储设备制造过程中用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD），高密度等离子体CVD（HDPCVD），蚀刻和其他薄膜应用。