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射频电源
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Integro™ 射频发生器
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Integro™ 射频发生器
经济型 Integro™ 射频发生器在很小的体积内结合了一个 13.56MHz、600W 的射频发生器和一个自动匹配网络。这节约了宝贵的空间并使得整合变得更容易。它支持的功能包括:脉冲模式、CEX 操作以及多种保护功能。
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Paramount® 射频电源
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MKS NOVA系列射频电源
优点
功能
能降低运行成本
能简化整合
能有效利用宝贵的空间
Low CoO
Easy integration
Efficient use of valuable space
紧凑型盒式设计
可被整合进匹配网络
脉冲模式
CEX 操作模式
多种保护功能
模拟用户端口
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