MKS GHW系列射频电源

GHW系列射频电源以13.56 MHz的频率提供1250、2500和5000瓦的最大额定输出功率。 GHW系列电源具有经实践证明的可靠性，出色的稳定性以及无与伦比的可重复性，从而可实现高正常运行时间和高工艺产量。 它们非常适合在集成电路，平板显示器和数据存储设备制造过程中用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD），高密度等离子体CVD（HDPCVD），蚀刻和其他薄膜应用。