AE HFV8000系列射频电源

灵活的 HFV® 电源主要用作200和300 mm 晶圆制程、平板显示器和 DVD 设备的等离子发生器，为离子化物理气相沉积 (IPVD)、CVD 和蚀刻提供了工艺一致性。这种通用电源的特点有数字合成变频输出和微处理器控制，输出功率电平为3、5和8 kW。此外，其输出频率范围为1.765-2.165 MHz。固件上的频率调谐参数可进行定制，以确保在各种真空室结构和工艺方法下的可重复运行。