AE APEX 系列射频电源

通用 Apex® 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。