Navigator® 数字阻抗匹配网络

多功能 Navigator® 匹配网络的先进技术能在多种负载阻抗下（从15W 至 30kW）进行快速、准确而可靠的匹配。该匹配网络配备了微处理器控制步进马达电路和用户可选数字调谐算法，使它能提供较传统模拟调谐法更高的一致性和精确性。这也使得它可以优化半导体、太阳能、FPD 以及 MEMs工艺流程（包括蚀刻、CVD、HDP-CVD、PVD 和腔体清洗应用）的输送过程功率。一个可选的内部 Z'Scan® 射频传感器可提供对过程功率和阻抗的实时测量和分析，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。此外，可选的虚拟前面板 (VFP) 软件使您能够通过一台个人计算机来监视并控制匹配网络。